Як працуе магнетроннае распыленне?
Магнетроннае распыленне - гэта метад фізічнага нанясення з паравай фазы (PVD), клас працэсаў вакуумнага нанясення для атрымання тонкіх плёнак і пакрыццяў.
Назва "магнетроннае распыленне" ўзнікае з-за выкарыстання магнітных палёў для кіравання паводзінамі зараджаных іённых часціц у працэсе магнетроннага распылення.Працэс патрабуе высокай вакуумнай камеры для стварэння асяроддзя нізкага ціску для распылення.Газ, які складаецца з плазмы, як правіла, аргон, паступае ў камеру першым.
Высокае адмоўнае напружанне прыкладваецца паміж катодам і анодам, каб ініцыяваць іянізацыю інэртнага газу.Станоўчыя іёны аргону з плазмы сутыкаюцца з адмоўна зараджаным матэрыялам мішэні.Кожнае сутыкненне часціц высокай энергіі можа выклікаць выкід атамаў з паверхні мішэні ў вакуумнае асяроддзе і рух на паверхню падкладкі.
Моцнае магнітнае поле стварае высокую шчыльнасць плазмы, затрымліваючы электроны каля паверхні мішэні, павялічваючы хуткасць нанясення і прадухіляючы пашкоджанне падкладкі іённай бамбардзіроўкай.Большасць матэрыялаў могуць выступаць у якасці мішэні для працэсу распылення, паколькі сістэма магнетроннага распылення не патрабуе плаўлення або выпарэння зыходнага матэрыялу.
Параметры прадукту
Назва прадукцыі | Мішэнь з чыстага тытана |
Гатунак | Gr1 |
Чысціня | Больш 99,7% |
Шчыльнасць | 4,5 г/см3 |
MOQ | 5 штук |
Памер гарачай распродажы | Φ95*40 мм Φ98*45 мм Φ100*40 мм Φ128*45 мм |
Ужыванне | Пакрыццё для машыны PVD |
Памер запасу | Φ98*45 мм Φ100*40 мм |
Іншыя даступныя мэты | Малібдэн (Mo) хром (Cr) TiAl Медзь (Cu) Цырконій (Zr) |
Ужыванне
■Пакрыццё інтэгральных схем.
■Павярхоўныя дысплеі з плоскіх панэляў і іншых кампанентаў.
■Дэкор і пакрыццё шкла і г.д.
Якую прадукцыю мы можам вырабляць
■Плоская мішэнь з тытана высокай чысціні (99,9%, 99,95%, 99,99%)
■Стандартнае разьбовае злучэнне для лёгкай ўстаноўкі (M90, M80)
■Самастойная вытворчасць, даступны кошт (якасць кантралюецца)
Інфармацыя аб замове
Запыты і заказы павінны ўтрымліваць наступную інфармацыю:
■ Дыяметр, вышыня (напрыклад, Φ100*40 мм).
■ Памер разьбы (напрыклад, M90*2 мм).
■ Колькасць.
■ Патрабаванне чысціні.