Метад электронна-прамянёвага выпарэння ўяўляе сабой разнавіднасць вакуумнага выпарэння пакрыцця, якое выкарыстоўвае электронныя пучкі для непасрэднага нагрэву матэрыялу, які выпараецца ва ўмовах вакууму, выпарэння матэрыялу, які выпараецца, і транспартавання яго на падкладку, а таксама кандэнсацыі на падкладцы з адукацыяй тонкай плёнкі.У прыладзе электронна-прамянёвага нагрэву нагрэтае рэчыва змяшчаецца ў астуджаны вадой тыгель, які можа пазбегнуць рэакцыі паміж матэрыялам выпарэння і сценкай тыгля і паўплываць на якасць плёнкі.Некалькі тыгляў могуць быць размешчаны ў прыладзе для дасягнення адначасовага або асобнага выпарвання і асаджэння розных рэчываў.З дапамогай электронна-прамянёвага выпарэння можна выпарыць любы матэрыял.
Электронна-прамянёвае выпарэнне можа выпараць матэрыялы з высокай тэмпературай плаўлення.У параўнанні з агульным супраціўленнем нагрэву выпарэння, ён мае больш высокую цеплавую эфектыўнасць, больш высокую шчыльнасць току пучка, і больш высокую хуткасць выпарэння.Плёнка і плёнка з розных аптычных матэрыялаў, такіх як токаправоднае шкло.
Характарыстыка электронна-прамянёвага выпарэння заключаецца ў тым, што яно не ахоплівае або рэдка ахоплівае абодва бакі трохмернай структуры мішэні і звычайна адкладае толькі адклады на паверхні мішэні.Гэта розніца паміж электронна-прамянёвым выпарэннем і распыленнем.
Электронна-прамянёвае выпарэнне звычайна выкарыстоўваецца ў галіне даследаванняў і прамысловасці паўправаднікоў.Энергія паскоранага электрона выкарыстоўваецца для ўдару па матэрыяльнай мішэні, у выніку чаго матэрыяльная мішэнь выпараецца і падымаецца.У канчатковым выніку адкладзены на мішэні.
Час публікацыі: 2 снежня 2022 г